Ansökan
Allt-i-ett-design, smart struktur och form.Scans huvud- och provstadium är utformade tillsammans, stark anti-vibrationsprestanda. Percision Laserdetektering och sondjusteringsenhet gör laserjustering enkel och enkel. Anpassa servomotor för att driva provet närmar sig spets manuellt eller automatiskt, för att realisera precisionsscanningsområdets positionering. positionering.CCD Observeringssystem för realtidsprovområde Observera och position; använd servomotor för att uppnå CCD-auto-fokusering av elektroniskt system är utformat som modulärt och enkelt för underhåll och utveckling. Integrerat med många arbetslägen Kontroll av elektronik för vidareutveckling.
Nyckelfunktioner
1. Skanningshuvud och provstadium är designade tillsammans, stark anti-vibrationsprestanda
2. Precisionslaserdetektering och sondinriktningsanordning gör laserjustering enkel och enkel;
3. Anpassa servomotor för att driva provet närmar sig spetsen manuellt eller automatiskt för att realisera positionering av precisionsskanning.
4. Hög noggrannhet och stor sortiment av provöverföringsanordning gör det möjligt att skanna alla intressanta provområden;
5. Optiskt observationssystem för spetskontroll och provpositionering.
6. Elektroniskt system är utformat som modulärt och enkelt för underhåll och vidareutveckling.
7. Anta våren för vibrationsisolering, enkel och bra prestanda.
Specifikation
| Drift | Kontaktläge, friktionsläge, | Skanningsvinkel | Slumpmässig |
| Provstorlek | Ø≤90mm, H≤20mm | Provrörelse | 0 ~ 20 mm |
| Max. avsöka | X/y: 20μm, z: 2μm | Pulsbredd när det gäller att närma sig motor | 10 ± 2ms |
| Upplösning | X/y: 0,2 nm, z: 0,05 nm | Optiskt system | Förstoring: 4x, |
| Skanning | 0,6Hz ~ 4,34Hz | Datapunkter | 256 × 256,512 × 512 |
| Scanning | XY: 18-bitars D/A, Z: 16-bitars D/A | Feedbacktyp | DSP digital feedback |
| Dataprovtagning | En 14-bitars A/D och dubbel 16-bitars A/D multipelkanal samtidigt | ||
| Datoranslutning | USB2.0 | Återkopplingsprovtagningsfrekvens | 64,0 kHz |
| Fönster | Kompatibel med Windows 98/2000/XP/7/8 | ||
Standard
GB/T 2985-1991
Riktiga bilder
