Ansökan
Allt-i-ett-design, smart struktur och form. Skanningshuvud och provsteg är designade tillsammans, stark antivibrationsprestanda. Precisionslaserdetektering och sondjustering gör laserjusteringen enkel och enkel. Anpassa servomotorn för att driva provet som närmar sig spetsen manuellt eller automatiskt, för att förverkliga precision av skanningsområdets positionering. Högnoggrannhet och stor räckvidd provöverföringsenhet gör det möjligt att skanna alla intressanta provområden; Olika typer av skanner uppfyller olika kunders krav på noggrannhet och skanningsstorlek; optiskt observationssystem för tipskontroll och provtagning positionering.CCD-observationssystem för observation av provområde och position i realtid;Använd servomotor för att uppnå CCD-autofokusering Elektroniskt system är designat som modulärt och enkelt för underhåll och utveckling.Integrerat med många arbetslägeskontrollelektronik för vidareutveckling.
Nyckelfunktioner
1. Skanningshuvud och provsteg är designade tillsammans, stark antivibrationsprestanda
2. Precisionslaserdetektering och sondjusteringsanordning gör laserjusteringen enkel och enkel;
3. Anpassa servomotorn för att driva provet som närmar sig spetsen manuellt eller automatiskt för att uppnå precisionspositionering av skanningsområdet.
4. Högnoggrannhet och stor räckvidd provöverföringsenhet gör det möjligt att skanna alla intressanta provområden;
5. Optiskt observationssystem för spetskontroll och provpositionering.
6. Elektroniskt system är utformat som modulärt och enkelt för underhåll och vidareutveckling.
7. Anta fjäder för vibrationsisolering, enkel och bra prestanda.
Specifikation
Drift | Kontaktläge, friktionsläge, | Skanna vinkel | Slumpmässig |
Provstorlek | Ø≤90mm, H≤20mm | Prov rörelse | 0~20 mm |
Max.skanna | X/Y: 20μm, Z: 2μm | Pulsbredd på motor som närmar sig | 10±2ms |
Upplösning | X/Y: 0,2 nm, Z: 0,05 nm | Optiskt system | Förstoring: 4x, |
Skanningshastighet | 0,6Hz~4,34Hz | Datapunkter | 256×256 512×512 |
Läser in | XY: 18-bitars D/A, Z: 16-bitars D/A | Typ av feedback | DSP digital feedback |
Datasampling | En 14-bitars A/D och dubbel 16-bitars A/D flera kanaler samtidigt | ||
PC-anslutning | USB 2.0 | Samplingsfrekvens för feedback | 64,0KHz |
Windows | Kompatibel med Windows 98/2000/XP/7/8 |
Standard
GB/T 2985-1991
Riktiga foton